二手 SPEEDFAM 36 GPAW #9287337 待售
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SPEEDFAM 36 GPAW是一種全自動、可編程的晶片研磨、研磨和拋光設備，設計用於在單個夾具設置過程中研磨、研磨和拋光扁平和成角度的晶片邊緣。SPEEDFAM 36GPAW是一個最先進的系統，結合了先進的機器人技術、高精度和優越的工藝控制，提供無與倫比的可靠性和質量的晶片邊緣研磨、研磨和拋光操作。36 GPAW單元由多個模塊組成。機器人加載夾具模塊由自動機械臂和夾具機組成，確保晶片對磨輪的加載快速、精確。背面研磨模塊包括精密夾緊工具和砂輪，以便可靠地研磨晶圓背面。邊緣研磨模塊包括自動定位器，用於精確定位晶片進行研磨，並確保所有邊緣都經過精確研磨、研磨和拋光。研磨/拋光模塊采用高精度、電子控制的旋轉表和可調節的高速鐵路資產，在研磨/拋光盤上精確定位晶片。背面研磨和研磨/拋光模塊具有集成的輪廓映射功能,可確保最佳的邊緣輪廓質量。36GPAW還包括自動質量控制檢查模型，以驗證成品的質量。SPEEDFAM 36 GPAW提供了許多附加功能,包括流程可追蹤性、統計流程控制（SPC）功能、可編程工作中心和直觀的觸摸屏控制界面。適用於所有半導體加工應用，包括半導體器件制造、MEMS/MOEM、先進晶圓制造、薄膜技術。該設備設計為提供卓越的性能,並結合了精確度、可重復性和最大吞吐量。SPEEDFAM 36GPAW提供的高級自動化確保了最高質量級別的可重現結果,而高級過程控制保證了高批量制造和苛刻生產要求的可靠性和可重復性。
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