二手 SPEEDFAM 36 SPAW #9087740 待售
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SPEEDFAM 36 SPAW設備是晶圓研磨、研磨和拋光的最先進的機器。它是一個全自動系統,旨在為制造微機械設備等薄膜電路提供精確和可重復的條件。該單元由研磨站、研磨站、拋光站和控制站四個主要組成部分組成。磨床站裝有一個垂直旋轉研磨主軸,由一臺能夠高速達到3000 rpm的電動機驅動。可調高度表允許操作員調整研磨的設置。真空機和冷卻系統確保磨削過程中的溫度得到控制。另外,還有兩個獨立的磨輪,一個用於表面刮削,一個用於磨削。研磨站設有水平旋轉臺,用於樣品研磨。真空優化穿孔片研磨技術有助於確保均勻的光潔度.拋光站設計為提供高品質的拋光。該工藝包括一個可調節的往復級、一個完全可編程的拋光器接口和一個微處理器。微機有助於監控拋光的全過程。最後,控制站是工具的心臟,能夠存儲多達500個程序,可以編輯和重用。它具有8.5英寸液晶顯示屏,可提供實時數據和圖形演示。此外,它還具有用戶友好的觸摸屏界面,可以快速輕松地調整流程。SPEEDFAM 36SPAW資產提供了加速的處理時間,可以加快生產速度,同時仍能提供準確的結果。此外,它還通過提供用戶可編程的參數(如研磨速度、壓力設置以及研磨和拋光參數)來實現過程的靈活性。該型號還配備了安全功能,如緊急停止開關和操作員在場傳感器,以確保在發生緊急情況時可以停止該過程。36 SPAW設備是一種設計用於晶圓研磨、研磨和拋光的功能強大、可靠的機器,可用於實現最優質的薄膜ciruits。
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