二手 SPEEDFAM 36 SPAW #9257662 待售

SPEEDFAM 36 SPAW（超精密磨料輪）是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備。它是SPEEDFAM系列精密拋光系統的旗艦系統，設計用於更高精度和更高吞吐量的操作。SPEEDFAM 36SPAW采用獨特的可調C型框架設計，便於攜帶和安裝，同時保持磨料輪和金剛石合圈與晶圓齊平，以提高研磨工藝的準確性和一致性。該裝置還擁有一個大的36英寸主研磨臂，用於增加工作面積，使大小晶片能夠同時工作。本機磨輪采用集成直驅伺服電機操作，可快速、精確地控制研磨研磨過程。該電機還能夠達到高達35,000 RPM的速度,以確保最大程度的一致性和效率。磨料輪裝在一個完全封閉的界面中，該界面配有集成的除塵工具，以提高安全性和降低噪音水平。它還能夠對工件直接施加精確數量的金剛石顆粒，以提高均勻性和準確性。除了這些板載功能外,36 SPAW還配備了一個可選的四條街索引夾具,該夾具允許車輪在四個不同的部分中往返晶圓。這樣可以在相對較短的時間內快速完成多個晶片的表面整理。36SPAW適用於各種工作，包括回磨、表面拋光和扁平研磨。其性能精確度高，適用於玻璃、陶瓷、金屬等多種材料。它是任何精度、高通量、高精度操作的絕佳選擇。