二手 SPEEDFAM 36B #9217163 待售

SPEEDFAM 36B是用於半導體材料單面或雙面加工的晶圓研磨、研磨和拋光設備。該裝置能夠將各種粗糙度水平的圓形基板磨削、打圈和拋光到納米範圍內。該系統可用於基板的機械拋光，如微電子和光電元件，以提高產量和生產率。該單元包括兩個主要組件：36B刀架和拋光臺.刀架握住磨輪、研磨板和拋光墊；其設計保證了不同材料在研磨、研磨和拋光過程中不會因結構穩定而受損。多軸拋光臺允許在過程的每個步驟中進行精確移動，從而提供可重復性和吞吐量精度。該表還具有閉環精密驅動單元，允許在操作過程中進行精確的速度和反饋監控。該機具有廣泛的研磨能力，具有多種輪轂選擇。標準磨輪轉速為800至8000 rpms。此外,該工具還具有SPEEDFAM CW-5A拋光頭,為各種研磨和拋光應用提供一致的速度控制。研磨板也可以從直徑0到80毫米進行研磨和研磨操作。拋光墊提供6,000 rpm的最大轉速，直徑6英寸，與所有拋光頭兼容。SPEEDFAM 36B是一種用途廣泛且可靠的晶圓研磨、研磨和拋光設備,適用於高精度應用。它具有研磨、膝蓋和拋光到近乎完美的表面的能力，允許增加屈服和更嚴格的公差。其特點包括用於精確速度控制的閉環反饋回路和可調節的車輪轉速。該單元的零維護設計需要最少的操作員幹預，使其成為依賴於過程和生物敏感操作的絕佳選擇。