二手 SPEEDFAM 48 BAW #9250728 待售
網址複製成功!
單擊可縮放
ID: 9250728
Lapping system
48" Segmented lap plate diameter
Segment thickness: 1-1/2"
Inside diameter of 4 conditioning rings: 18"
Ring area: 1018 Sq inches
Plate speed: 63 RPM
Down pressure per head: 1260 Lbs
(4) Cylinders: 5" Diameter
Equipped with:
48" Diameter segmented lapping plate
(4) Air pressure hold downs with pressure plates
(4) Geared conditioning rings
10-Hp Main drive motor and controls
Water cooled table system
Pump and tank unit
Automatic cycle timer control
Push button control station.
SPEEDFAM 48 BAW是一種多功能晶片研磨、研磨和拋光設備,設計用於生產具有最大吞吐量的高質量晶片。該系統采用雙頭磨床-磨床-拋光機設置,為實現高精度晶片提供了完整的解決方案。它能夠快速處理各種各樣的晶圓大小,從小到125 μ m到大到500 mm不等。48 BAW是一個靈活的、易於使用的單元,允許各種進程設置。研磨機-研磨機-拋光機設置提供了一系列的研磨和拋光步驟以及各種磨料尺寸,允許各種表面飾面。該機器還提供各種電源需求選項,允許靈活的生產計劃。SPEEDFAM 48 BAW是在精確度和精確度的考慮下構建的。它的自動化工具采用模塊化設計,便於設置和維護。它利用精密線掃描光學器件測量晶圓平坦度和z軸梯度,允許對研磨過程進行高度精確的測量和控制。該資產還具有多種安全功能,包括在檢測到超出低質量條件時自動關閉。48 BAW的自動化模型是為了滿足對粒徑和表面光潔度的所有要求而構建的。設備還配備了一個全面的流程監控系統,實時跟蹤流程參數,允許對流程進行完整的追溯。總體而言,SPEEDFAM 48 BAW是一種最先進的設備,設計用於提供高精度晶圓研磨、研磨和拋光。它易於使用的模塊化設計為過程控制、電源要求和安全功能提供了一系列可調節的設置。它的自動化機器確保嚴格遵守晶圓生產過程的質量控制和可追蹤性。
還沒有評論