二手 SPEEDFAM 48 BW #9254521 待售
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單擊可縮放
ID: 9254521
Lapping system, 48"
Four ring open face style machine
Standard segmented lapping plate, 48"
Inside diameter of conditioning rings: 18"
Total ring area: 1018 Sq inches
Plate speed: 63 RPM
Equipped with:
Hardened steel segmented lapping plate, 48"
(4) Conditioning rings
Assorted pressure weights
Water cooling feature of lapping plate
Slurry pump and tank unit
10-H.P. Main drive motor and controls
Automatic cycle timer control
Wired for 3 / 60 / 220-440 V operation.
SPEEDFAM 48 BW是一種高性能的多用途晶片研磨、研磨和拋光設備,設計用於在半導體晶片上精確高效地生產高質量的平坦、鏡面。該系統采用專利接觸技術,確保研磨工藝流暢、均勻,並具有廣泛的可調選項,以滿足應用的特殊要求。該裝置包括一個48英寸直徑的轉盤,用於晶圓安裝,以及一個速度高達10,000 RPM的大功率主軸電機,用於快速研磨和拋光操作。磨削工藝適用於從精細拋光到激進磨削的各種應用,並且該機具有垂直主軸位移,以確保在最小破損的情況下高效運行。機器還包括各種研磨選項,從非常精細到粗糙,以產生最佳的應用效果。研磨工藝也適用於一系列的應用,從生產高質量的半導體晶片到研磨磨料。該工具還包括一個集成的拋光工藝,它提供了可調的速度和壓力設置,以確保最高質量的拋光表面。此外,該機器還具有全自動清潔和維護程序,為長期生產需求提供了高效的解決方案。總體而言,48 BW是一種高性能晶圓研磨、研磨和拋光資產,旨在準確高效地生產高質量的成品。
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