二手 SPEEDFAM 48BTAW #9199491 待售
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單擊可縮放
ID: 9199491
優質的: 1970
Lapping system
Segmented lap plate diameter: 48”
Standard segment thickness: 1-1/2”
Inside diameter of the 4 conditioning rings: 18”
Total ring area: 1018 Sq inches
Plate speed: 63 RPM
Down pressure per head: 1260 Lbs
(4) Cylinder size: 5” Diameter
Equipped with:
48” Diameter segmented lapping plate
(4) Air pressure hold downs with pressure plates
(4) Geared conditioning rings
10 Hp main drive motor & controls
Water cooled table system
Outside parts loading table
Slurry pump & tank unit
Automatic cycle timer control
Push button control station
1970 vintage.
SPEEDFAM 48BTAW是一種最先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備,設計用於半導體和其他精密設備制造應用。它具有優越的表面光潔度和均勻性,具有優化的磨料磨削能力和極低的振動特性,可實現最大的吞吐量和產量。該系統包括一個多階段的3速操作,允許精確控制和調整晶片的形狀和表面光潔度使用磨削和拋光輪的組合。這一過程使得各種材料,包括矽、石英、原材料和晶片能夠精確研磨、研磨和拋光。48BTAW具有高精度的扁平主軸傳動裝置,可實現工件進料和高速操作的平穩、精確,確保整個操作過程中的最佳控制和精度。內置的計算機控制工藝功能允許對速度、進料和冷卻劑進行調整以獲得可重復的結果。用戶友好的操作員界面可以輕松選擇所需的研磨參數,液晶屏以圖形和數字形式顯示參數,便於查看和解釋。該單位還配備了多項安全功能,包括綜合信號輸出安全機和帶有防震墻的噪聲室,以保護工區附近的人員。SPEEDFAM 48BTAW配備了堅固的自動停止運動控制功能和故障安全制動工具,以防止在操作過程中對磨輪和工件造成損壞。該資產還具有先進的溫度控制能力,以確保最佳砂輪溫度和內置的密封冷卻劑模型,在操作過程中冷卻車輪並提供清潔。此外,該設備還包括一些其他功能,如粒度分銷商和自動車輪超速保護。總體而言,48BTAW是一種高效可靠的晶圓研磨、研磨和拋光系統,具有優越的表面光潔度和均勻性,具有優化的研磨能力和極低的振動特性。該裝置是任何晶圓研磨、研磨和拋光應用的理想解決方案,並已被設計為最大的吞吐量和生產產量。
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