二手 SPEEDFAM 50 DPAW #9294583 待售

SPEEDFAM 50 DPAW是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備，用於生產半導體晶圓。它是一個全自動系統，包括裝載機/卸載機、研磨、研磨和拋光頭、晶圓處理和環路控制單元。它設計用於一次處理一個晶片，並能夠研磨和拋光晶片非常嚴格的控制要求。50 DPAW使用自動裝載機/卸載機,一次最多可管理40個晶片。晶片分別加載到機器中,然後在處理完成後卸載。此外,該工具還具有一個機器人晶片處理臂,該臂將晶片從加載程序/卸載程序傳輸到資產的其他組件。磨頭是第一個加工晶片的元件。它使用特殊的研磨輪來減小晶片的厚度，並保證晶片平整光滑。該過程由一個計算機模型控制，該模型監測磨削的進展以及磨輪的溫度。研磨完成後，使用研磨和拋光頭進一步細化晶片表面。研磨頭用於創建平坦光滑的表面，而拋光頭則用於頂端修整表面光潔度。該過程再次由計算機設備監控，該設備跟蹤研磨和拋光的進度。一旦完成，晶片由晶片處理臂運回裝載機/卸載機卸載。最後，SPEEDFAM 50 DPAW還包括一個環路控制系統。該設備用於監控機器的溫度、濕度和壓力,並確保它們都符合要求的規格。循環控制工具還負責控制研磨和研磨/拋光頭的速度。總體而言，50 DPAW是用於生產半導體晶片的自動化晶片研磨、研磨和拋光資產。它設計用於單次加工晶片，能夠根據非常嚴格的控制要求對晶片進行研磨和拋光。該模型包括一個機器人晶片處理臂，一個環路控制設備，並通過計算機系統進行監控，以確保最佳性能。