二手 SPEEDFAM 50 DPAW #9363678 待售

ID: 9363678
Polisher.
SPEEDFAM 50 DPAW晶圓研磨、研磨和拋光設備是一個全面的、可定制的系統,可最大限度地提高硬質和軟質材料的加工效率。該單元設計用於將晶片加工成精確的半導體元件。該機采用皮帶研磨、研磨和拋光的組合,能夠實現各種部件的高質量精加工。該工具由一系列電動主軸組成,用於控制安裝在皮帶資產上的研磨和拋光介質的旋轉。對50英寸直徑的自動表進行評分和預處理,以減少晶片上的缺陷,並塗上類似天鵝絨的彈性背襯,以提供優異的表面研磨效果。主軸是剛性和精確定位垂直於研磨和拋光介質。此獨特功能可確保最佳的庫存清除,並最大程度地減少成品的變化。50 DPAW利用磨料拋光輪實現持久、均勻的光潔度。根據所需的光潔度選擇磨料介質。拋光輪的分析砂礫(0-800)為低粗糙度,細砂(800-1500)為較高。此外,還包括一個過程中的監測模型,以提供晶圓進度的實時監測。該設備利用光學顯微鏡實時查看樣品,以便對成品進行質量分析。該系統還包括各種研磨流體和潤滑劑,以便對晶片進行高效清洗和脫脂。還包括一個自動拉緊裝置,以確保精確的介質張力和可重復的性能。SPEEDFAM 50 DPAW是為最大的工藝效率而設計的,具有可調的工藝速率和可重復的條件。這臺機器還包括其他行業領先的功能,用於快速晶圓處理和高投資回報。50 DPAW是高精度半導體應用的理想選擇,肯定會超出客戶的需求。
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