二手 SPEEDFAM 50 GPAW-TD #9377484 待售

SPEEDFAM 50 GPAW-TD是SPEEDFAM製造的高精度晶圓研磨、研磨及拋光設備。該系統可用於研磨，膝蓋和拋光半導體基板具有卓越的精度和表面光潔度。該單元采用雙電機CNC控制的高速主軸,最高可運行40000 RPM。這允許在客戶定義的CNC程序中高速研磨和研磨過程,並提供卓越的精度和表面可靠性。各種研磨板提供精密的光潔度、質地、粗糙度和研磨斜率控制。該機還配備了一個無張力調節工具，以增強表面光潔度，幫助減少磨削和磨削裂縫。50 GPAW-TD配備了多種金剛石和金剛石塗層磨料磨輪。這允許用戶磨削和膝蓋基板精確的尺寸與最小的完整性損失。可調節的樣條段允許研磨輪和研磨輪的可靠對齊，使用戶能夠產生高可重復性的結果。資產還具有自動加載單元,可減少手動幹預並允許一致的過程中質量控制。可調磨料濃度控制也可用於定制研磨和研磨過程。PLC控制的真空模型最多可容納24個樣品持有者，從而提高晶圓研磨工藝的效率。真空設備還與在研磨和研磨過程中夾持和提升晶片的堅固夾套系統集成在一起。SPEEDFAM 50 GPAW-TD配備了高效的除塵裝置，可防止粉塵和碎片汙染晶圓。該機器還配備了一個安全百葉窗，可提供更多的防止碎屑和清潔工具的維護。該資產的特點是一個過程周期，並有一步一步的指導，以允許快速設置和易於操作。50 GPAW-TD是各種扁平球形基板的高精度研磨和研磨的理想選擇-提供高質量的表面,具有較低的快速預熱時間和較低的額定功率。