二手 SPEEDFAM 50 GPAW #9267589 待售

SPEEDFAM 50 GPAW是一種晶圓研磨、研磨和拋光系統，可以在晶圓表面上產生優越的平坦性和平行性。它能夠在一個過程中產生任何組合的雙面研磨和單面研磨和拋光過程。通過將光學控制的超精密工作臺和研磨/研磨/拋光頭與穩定、高功率的主軸電機相結合,實現了高性能和可操作性。50 GPAW設計用於加工直徑最大為200毫米、總厚度最大為50毫米的半導體晶片。它具有很高的精度，在納米範圍內具有平坦性和平行性，在亞微米範圍內具有輪廓精度。該機的磨頭由一臺超精密主軸電機（可旋轉9500 rpm）和一個精細粒度的運動控制（可精確定位磨輪）組成。由於其優越的機械設計，由於溫度變化和高精度，它能夠以最小的熱變形產生最佳的研磨性能。其研磨頭具有新開發的研磨板，提供了較高的平整精度和較低的熱變形率。它還利用內部壓力系統，這是能夠產生最佳的接觸壓力與單個操作。拋光頭可以對復雜的表面進行均勻拋光,使用的拋光墊可以調整以產生任何所需的輪廓。SPEEDFAM 50 GPAW為高效運行而設計，具有自動化裝卸系統、自動研磨/研磨/拋光頭控制和切割參數調整。它的人機界面使操作變得容易，並使用戶能夠快速達到期望的效果。50 GPAW是研磨、研磨和拋光晶片的理想解決方案。它提供了卓越的精確度、高輸出、多用途的工作流程和高效的操作。