二手 SPEEDFAM 50 GPAW #9294584 待售

SPEEDFAM 50 GPAW是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備，設計用於生產薄、高精度晶圓。該系統采用集成工作托盤,每批最多可容納50個6英寸晶片,從而實現高效批量生產。該單元還包括一個空氣軸承型線性主軸，能夠實現高剛度和最高精度。主軸具有一臺獲得專利的「可調自動化和控制」機器,可對每個晶片的進料速率、車輪位置、通過次數和拋光時間等因素進行自動、精確的控制。研磨是在鑄鐵夾具上使用CBN或金剛石研磨輪與特殊的粘貼一起完成的。磨輪具有可調徑向磨損，可精確控制晶圓厚度和平整度。研磨過程遵循研磨，用各種類型的拋光布和磨料漿料完成。研磨過程涉及一個旋轉圓盤，也是可索引的，以達到晶圓厚度的均勻性。拋光工藝用於實現超平滑,並利用獲得專利的SLG （SigmaLink Grind）工藝提供卓越的表面整理質量。50 GPAW還使用自動晶片處理工具,將晶片和潤滑劑從研磨和拋光階段轉移到後完成階段。該資產能夠處理範圍廣泛的晶圓尺寸,直徑不超過6英寸,厚度各不相同。該型號安全、用戶友好,並以最少的手動幹預提供高端飾面。SPEEDFAM 50 GPAW為晶圓研磨、研磨和拋光提供了完美的解決方案。其高端技術在短生產周期內提供了優異的效果，確保了用這臺機器生產的晶片精度高，質量最高。