二手 SPEEDFAM 50 SPAW #293723765 待售

SPEEDFAM 50 SPAW設備是一種設計獨特的高速研磨、研磨和拋光系統,能夠對直徑不超過6英寸的玻璃、矽和陶瓷晶片進行精密研磨。該單元采用變速變頻器和無刷直流電機的卓越主軸技術,可提供1,000至35,000 rpm的可調轉速。50 SPAW具有兩站高扭矩不銹鋼行星齒輪驅動主軸,由三相無刷直流電機提供動力。該電機能夠產生高達12kw的扭矩,並具有變速變頻器,用戶可以在1,000至35,000 rpm之間調節主軸的轉速。這樣可以對晶圓表面進行理想的研磨和拋光。兩站式設計還允許用戶快速交替進行研磨和拋光操作，並最大限度地減少停機時間。SPEEDFAM 50 SPAW進一步配備了五軸機頭，允許對複雜的複合平面形狀進行全5軸磨削及拋光。50 SPAW機頭的C軸可調0至5度，確保最大精度研磨。SPEEDFAM 50 SPAW還配備了多位置卡盤，用於優化晶片加載和夾緊。卡盤能夠一次接受多達六個直徑6英寸的晶片，可以很容易地換成更大的通用性。50 SPAW控制機采用獨特的晶圓控制算法，優化了磨削和拋光工藝，確保了最大精度。此外,SPEEDFAM 50 SPAW通過使用獲得專利的人機接口（HMI）確定厚度和成分各異的晶圓的必要研磨和拋光速度。這種可調算法允許在各種材料上全自動研磨和拋光尺寸。最後,50 SPAW工具是一種先進的高速晶圓研磨、研磨和拋光設備,適用於各種晶圓尺寸和材料。其優越的主軸和多軸研磨能力，變速和可調拋光算法使其成為任何精密晶圓應用的理想選擇。