二手 SPEEDFAM 50 SPAW #9212224 待售
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SPEEDFAM 50 SPAW(單板自動晶片研磨、研磨和拋光)設備是一種集成晶片研磨、研磨和拋光解決方案,旨在最大限度地減少下一代晶片級產品的加工時間。該系統能夠在單個平臺上研磨、研磨和拋光晶片,為傳統的多步驟工藝解決方案提供了高效、經濟高效的替代方案。50 SPAW使用各種不同的轉速和進料速率的主軸頭操作,可自動連續加工直徑達300毫米、厚度達100毫米的晶片,離心力高達10克,實現高速主軸精度和研磨均勻性。該單元包括一系列特定於工藝的部件,包括金剛石磨削和磨料輪、晶圓支架和拋光喬木,允許用戶根據自己的需求定制應用,以實現精細表面飾面、高精度尺寸公差和優越的平整度。為了提高生產率,SPEEDFAM 50 SPAW具有高效的連續環路機器,處理後的晶圓將被發送到下一個工作站進行下一步處理,並且所有工具都自動加載到工具中,而無需操作人員在此過程中進行幹預。可以通過資產的'操作員站'終端現場進行編程,在那裏可以調整設置和修改程序,而模型維護則通過定期在線檢查輕松進行,減少停機時間並最大化輸出。50 SPAW的設計具有最前沿的安全性,包括操作員被封裝在隔音、防光的外殼中,而一些互鎖和故障保險箱確保以最小的幹擾和最大的耐用性繼續運行。綜上所述,SPEEDFAM 50 SPAW是晶圓研磨、研磨和拋光的終極解決方案.50 SPAW具備「全板」功能、高精度工藝參數、自動化選項、「無維護」設計和一系列安全功能,極有可能徹底改變業界。
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