二手 SPEEDFAM 52 SPAW #9073253 待售
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SPEEDFAM 52 SPAW是一種多功能晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在為各種應用提供高精度的表面處理。它為半導體器件基板、陶瓷晶片、光學材料和壓電材料的苛刻晶片研磨和拋光提供了最先進的技術。該系統由兩個單元組成:一個裝有驅動電機和張緊器的頂置支架,以及一個安裝在較低位置的反向旋轉晶片研磨段,該研磨段采用可選的速度穩定單元。支架安裝在剛性柱上,具有操作員控制的調速控制,允許高度精確的表面研磨和拋光。圓形預壓軸承可最大程度地減小振動,強大的無級變速驅動電機即使在高速下也能確保精確的物料去除。安裝較低的反向旋轉晶片研磨段設有兩個垂直可調的高精度金剛石研磨和拋光頭。該金剛石頭具有柔性背板,精湛的同心度。拋光頭可通過操作員控制的調速控制進行調節,在去除材料的同時允許精確重復和均勻的結果。52 SPAW還包括摩擦、拉伸和高壓晶片研磨和研磨板的選擇,以達到拋光性能的極致。此外,該機設計為接受研磨和拋光冷卻劑,確保在整個工作過程中一個一致的研磨和拋光環境。SPEEDFAM 52 SPAW的精確度和效率非常高,非常適合各種晶圓研磨應用,包括半導體器件基板、陶瓷晶圓、光學材料和壓電,每次都能獲得驚人的效果。
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