二手 SPEEDFAM 59 SPAW #9073254 待售

SPEEDFAM 59 SPAW是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備，設計用於半導體工業。它是一個多軸系統，可以同時處理多達11個晶圓。利用其高精度的低振動操作，可以在一次操作中進行研磨、拋光和平整度測量。59 SPAW配備了五個伺服驅動軸。X、Y、Z軸可實現研磨/拋光頭的三維運動和旋轉；此外,B軸和A軸可分別在X和Y方向上進行四維標記和45度定位。另外兩個A-B軸允許加工全表面積的磨削或拋光。SPEEDFAM 59 SPAW提供了一個完全封閉的密室的無塵環境。它裝有氣壓和加濕器，適用於低溫、高濕度條件下的研磨和拋光。綜合提取再循環裝置提供整體清潔和空氣質量控制。該單元適用於單晶和多晶晶片的研磨拋光。它容納了八種類型的磨盤、樹脂粘結金剛石圓盤、磨料磨角和超聲波切盤，適合各種特定的應用。此外，它還使用噴墨機在工件上精確應用研磨/拋光化合物。59 SPAW提供了與現有線路集成的便利。它是高度可編程的,允許用戶根據自己的要求保存配方和設置參數。可選的「自動加載/卸載」計算機可幫助處理批處理和常規作業。它還具有外部診斷端口,便於遠程維護。最後，SPEEDFAM 59 SPAW是半導體工業中一種高效可靠的晶圓研磨、研磨和拋光工具。它提供了極好的精確度，易於操作，和一個完全封閉的室無塵操作。附加功能,如自動加載/卸載資產、噴墨分配器、可選的A-B軸和外部診斷端口,使59 SPAW成為具有挑戰性的晶圓處理應用的絕佳選擇。