二手 SPEEDFAM 5B-7L #9276666 待售

SPEEDFAM 5B-7L是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在為光子學、MEMS、醫療設備和其他微型產品等應用提供高精度處理解決方案。該系統提供了一種高效的方式來完成CMP和半導體基板。它由研磨單元、研磨單元、拋光單元和真空淋浴單元4個主要部件組成。磨削單元是先進的5軸，具有高精度運動，使其在晶圓表面達到亞微米精度。它可以與金剛石和CBN兩種類型的磨輪一起使用，並且最多使用兩個獨立的電動機，從而確保晶圓表面的平滑和一致的結構。該機組還配備了可調節的自動動力控制功能，抵消了磨削軸因車輪失衡而出現的不均勻運動。研磨裝置是為圓柱形和平坦表面研磨而設計的。雖然磨料石用於控制研磨過程，但各種磨料漿可用於滿足各種基材的研磨過程要求。研磨裝置還具有自動調整磨輪轉速的功能，可精確控制研磨參數，並提供盡可能高的精度和表面光潔度。拋光裝置的主要目的是利用各種拋光材料和工藝在晶圓表面上達到光滑、高質量的光潔度。可以結合不同類型的拋光方法，如泥漿分散、緩沖和填充調節，以達到預期的效果。最後，真空淋浴機負責通過清除所有研磨、研磨和拋光過程產生的碎片，在加工過程中清潔整個晶片。使用單一的除塵源,大大減少了維護的需要。該工具得益於高效的吸力，可以快速清除灰塵顆粒，而不會降低整個資產的性能。5B-7L對於尋求晶圓研磨、研磨和拋光要求解決方案的人來說是一個極好的選擇,它提供了無與倫比的精確度和頂級生產率。通過使用所有這些不同的特性和組件,模型能夠提供優質的產品。