二手 SPEEDFAM 5B-8L-I #9208858 待售

SPEEDFAM 5B-8L-I晶片研磨、研磨和拋光設備是一種自動化、自成一體的集成處理系統,旨在以最高精度拋光晶片。這是通過將拋光頭的獨特特性（包括高效的切削輪廓與獨立的主軸驅動器）結合起來完成的。該單元還采用模塊化設計，以便於添加新工具和升級。該機設計有一個固定晶片卡盤耦合到一個可調主軸，允許精確選擇研磨參數。主軸的轉速從0-3,500 rpm不等,可以將晶片以最高0.1mm的精度送入磨頭。磨頭由一個旋轉的金剛石圓盤組成，該圓盤由可調節的速度馬達驅動，能夠達到高達70度的角度。這樣可以確保研磨力均勻地穿過晶片表面,從而提高切口的均勻性。這種刀具的精確度是通過其可調的深度量表實現的，這使得橫跨晶圓的切口具有恒定和一致的深度。資產的研磨階段由兩個伺服電動機驅動，這些伺服電動機引導研磨盤（一種碳化矽砂紙）穿過晶圓表面。研磨速度可調，範圍為0-2000rpm。該級由氣動控制模型控制，在受控研磨操作中提供了高度的精度和均勻性。設備的拋光階段是由液壓動力驅動的壓板實現的，該壓板確保臺面的平滑往復運動，提供均勻的光潔度。壓板能夠執行不同的傳球,可從0調整到15。在拋光過程中，用水泵在恒流上施加的水基液體潤滑表面，以防止拋光缺陷的發生。該系統還包括一個數字編碼器，該編碼器在拋光過程中精確控制往復電動機的速率，從而實現均勻光滑的結果。通過利用晶片研磨、研磨和拋光單元中5B-8L-I特性,可以對表面進行一致、準確的拋光,使其達到高精度要求,並具有快速的操作速度和出色的工藝控制。因此，這臺機器是客戶高效需求和尋求取得最佳效果的理想選擇。