二手 SPEEDFAM 5B-8L-I #9257680 待售
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SPEEDFAM 5B-8L-I設備是一種晶圓研磨、研磨和拋光系統,旨在提供快速、準確的結果。配備5軸數控,提供研磨過程的精確方向控制。這樣可以實現更高的準確性和可重復性,從而確保產品質量的一致性。這臺機器能夠將大型晶片與單個零件分開研磨。5軸數控也使機器可以用於背面研磨,這對於具有硬化基板的高端應用來說是必不可少的。該單元的圓形研磨部分可以容納直徑最大為8英寸的晶片。它以高速在垂直軸上旋轉晶片,以非常高的精度執行操作。圓形研磨零件還可以容納多達8英寸的晶圓,並對表面施加一系列的凹槽、弧形、輪廓和反向斜角形狀。它配備了一個可編程控制器,能夠自動識別零件的快速設置和操作。此外,它還允許手動控制,使操作員可以微調流程以滿足客戶的需求。機器的扁平研磨部分設計為在研磨扁平基板時提供最大精度。配有氣動夾緊裝置,可快速將晶片固定在正確的位置。扁平研磨部件可使用寬達8英寸的晶片,並可處理高達0.060英寸(2毫米)的深度。它能夠產生一系列特征,如直線、圓、弧、矩形形狀、方孔、反向斜角形狀和鍵槽。氣動夾緊還提供了無需重新校準即可產生多個零件叠代的能力。刀具的拋光部分將最終精加工應用於地面和磨削表面。它配備了可編程控制器,可以快速設置為多種形狀,如矩形、圓形和弧形。它可以處理厚達0.080英寸(2mm)的基板。SPEEDFAM拋光資產提供卓越的性能和一致的拋光結果。速度、精度、重復性相結合,使5B-8L-I模型成為高端精密晶圓研磨、研磨、拋光操作的理想選擇。它能夠生產具有非常嚴格的公差和粗糙度要求的高質量表面。其變速允許不同的材料和工件尺寸進行快速高效的加工。最後,5軸數控提供了廣泛的運動範圍,為高端晶圓研磨、研磨和拋光應用提供了精確的操作。
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