二手 SPEEDFAM 64 BSW #293606142 待售

SPEEDFAM 64 BSW晶片研磨、研磨和拋光設備是一種高精度、自動化、閉環的機器，用於在大型半導體晶片和平面上實現低平均粗糙度和表面平滑度。它非常適合在大型元件（直徑高達300毫米）上創建非常光滑、低劃痕的表面,這些元件需要高端、精確的表面飾面。64 BSW包含了一個創新的設計平臺，允許高效率的處理並且高度可靠。其先進的運動控制系統允許精確的編程和可重復的結果，而高端空氣軸承主軸產生無振動的操作最大效率和一致性。過程驅動控制單元允許操作界面和操作方便，並配有自動自我診斷和分析，以確保最大性能。開環控制機使工作過程具有靈活性。內置電源監控工具進一步提高了可靠性。為了提高工藝精度,SPEEDFAM 64 BSW包括用於改進工件保持的真空卡盤,並包括用於晶圓局部和全局溫度控制的集成冷卻。閉環控制資產長期準確，提供單調可重復性。此外，64 BSW還采用了各種研磨、CMP和拋光工藝技術，包括金剛石和氧化鋁磨盤、天然潤滑劑模型和接收器精加工操作。高效高效的材料為設備提供了充足的動力，能夠提供理想的表面光潔度質量。SPEEDFAM 64 BSW的設計目的是在高質量和高效率的情況下運行,同時保持低擁有成本的可用性。該系統能夠在基板上產生高度可靠、可重復和低劃痕的表面。其結果是一個光滑、平坦的表面，具有一致和可容忍的大小，形狀和形式。該機器為醫療、汽車和消費電子行業生產高質量、精確的元件提供了經濟高效的解決方案。