二手 SPEEDFAM 6B-11P-IV #9400317 待售

SPEEDFAM 6B-11P-IV是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備，利用先進的概念和技術提供高精度和表面光潔度。該系統包括各種各樣的工具和配件,以實現最高的效率和性能。6B-11P-IV包括一個包含若幹磨削/研磨工具的主體，包括一個主磨輪和一個裝有金剛石浸漬頭的高速拋光裝置。砂輪可針對不同的工藝參數進行調節，可用於碳化矽（SiC）、氧化鋁（Al2O3）和多晶金剛石（PCD）等各類磨料。拋光機采用自動交換機構，使操作員能夠在研磨和拋光操作之間快速切換。交換機制還有助於確保過程參數一致。該工具還包括廣泛的子系統，包括冷卻資產、研磨板和研磨板手套。冷卻模型有助於確保優化的速度和磨料性能,還有助於保護磨料磨削/研磨/拋光元件不會過熱。研磨板和研磨板手套的設計是為了減少磨料的提取和幫助保持基板平坦。開發了SPEEDFAM 6B-11P-IV以滿足各種流程要求。它可以在半導體表面達到<1. nm （1 x 10-9mm）的表面光潔度或類似鏡像的光潔度，這取決於應用和所需的表面規格。由於設計緊湊，重心低，設備可靠性高，操作方便，即使在嚴密密閉的環境中也是如此。6B-11P-IV晶圓研磨、研磨和拋光系統是先進的半導體加工和精加工應用的一種可靠、高質量的解決方案。其高度現代化的技術和特點保證了最高的技術性能，使其成為半導體制造工藝的可靠和高效的選擇。