二手 SPEEDFAM 6B-7L/P #9191612 待售

SPEEDFAM 6B-7L/P是一種晶圓研磨、研磨、拋光設備，提供卓越的晶圓表面光潔度和性能。它非常適合用於制造半導體和光電器件，如GaAs、InP和GaN器件。該系統采用金剛石浸漬砂輪、專用研磨頭和拋光頭的組合，由於其工藝控制、快速循環時間和每個晶片表面的均勻性而實現。SPEEDFAM 6B-7L/P單元是一個功能齊全的解決方案,具有直接驅動主軸、可編程研磨和研磨力、精密Z軸運動和多功能輔助頭等機器特性。該機還配備了支持晶片快速加載的智能夾具、觸摸屏界面以及用於快速設置和操作的內置教程。磨頭采用金剛石磨料，以最大的磨削效率，磨頭采用專有的驗證Plus™頭，用於均勻磨面。拋光頭包括易於操作的自動化再循環資產，有助於調節壓力、速度和氣流。SPEEDFAM 6B-7L/P還被設計成包含清潔室友好的功能，如可調節的顆粒霧分離器、封閉的金屬外殼和閉環泵油噴霧器。此外,該模型還采用工藝參數來適應不同的晶圓材料、分辨率和優化的循環參數。SPEEDFAM 6B-7L/P包括為每個晶片設置單獨的設置配置文件,從而提高一致性和質量保證。它還為所有流程參數提供在線數據跟蹤,幫助機器維護、故障排除和流程可重復性。此外，SPEEDFAM 6B-7L/P利用自清潔再循環設備和自動收集灰塵，有助於減少廢物。SPEEDFAM 6B-7L/P是一種堅固且用途廣泛的晶圓研磨、研磨和拋光系統。它非常適合生產具有優化的光潔度、均勻性和一致外形尺寸的高質量晶片。憑借其潔凈室友好的特點、直觀的觸摸屏控制以及全自動操作，它是一個可靠而強大的半導體和光電元件研磨、研磨和拋光解決方案。