二手 SPEEDFAM 84 BAW #9207276 待售

ID: 9207276
Single side lapping machine Equipped with: (4) Pneumatic hold down plates With variable hold down pressure (4) Retainer rings Water cooled: 84" Segmented lapping plate Adjustable inner gear drive Slurry pump and tank Specifications: Plate diameter: 84" Retaining ring ID: 32-1/2" Total ring area: 3318 Sq. in Plate speed variable: 0-36 RPM Main drive: 25 HP Cylinder size: 8" Down pressure (Variable): 0-3400 lbs 1972 vintage.
SPEEDFAM 84 BAW是一種高精度的晶圓研磨、研磨和拋光設備,其設計目的是在每一個應用程序中都能獲得卓越的質量效果。該機采用磨料和化學工藝相結合的方式,在晶圓表面上實現光滑、光滑的光潔度。該系統是自動化的;用戶只需將基板加載到設備的研磨臺上並設置所需的參數,然後由機器負責重新加工。操作員可以根據特定需求調整研磨過程,如果需要,還可以在過程的中間更改參數。84 BAW使用了一系列粗細的金剛石輪轂、研磨和拋光膠帶以及漿料,以及一個旋轉的機械拋光機來達到理想的結果。磨料以不同的載荷、研磨速度和時間設置進行應用,以確保在整個應用過程中均勻完成。該機設計為生產平面度小於1 um、表面粗糙度降低≤ 0.04 um的非扭曲表面。該機配備了全自動振蕩機構,使其能夠同時研磨和拋光多種尺寸和厚度不同的基板。它還具有一個後處理透明粘合劑工具,使樣品能夠在處理後迅速去除。此外,平臺還配備了範圍廣泛的溫度、壓力、供水傳感器,以確保最佳運行和效果。SPEEDFAM 84 BAW配有圖形用戶界面,便於監控。操控板允許選擇研磨參數、啟動操作序列和評估處理信息。此外,該資產還集成了一系列安全功能,用於在硬件或軟件發生故障時保護操作員和操作流程。總的來說,84 BAW是一個強大的設備,用於研磨,研磨和拋光晶片的多個應用,允許更高的準確性和可重復性。它的自動化模型、廣泛的傳感器、可調參數和直觀的圖形界面確保了它的效率和可靠性。
還沒有評論