二手 SPEEDFAM 9B-5 #293798806 待售

SPEEDFAM 9B-5是由SPEEDFAM Corporation生產的晶圓研磨、研磨和拋光系統。它旨在為自動化半導體制造工藝提供高精度的晶圓拋光和均勻性。9B-5有七個加工頭，包括磨削、研磨和拋光頭，它們以精確調節的速度旋轉。圓盤式磨頭采用旋轉金剛石砂輪和行星齒輪驅動器，以實現更高的磨削/拋光速度和更好的表面光潔度結果。晶片牢牢地固定在兩個磁頭之間，而磨盤和行星齒輪驅動以編程的RPM旋轉，使晶片與磨輪接觸。與傳統的旋轉系統相比，研磨頭具有擺動的圈輪和配重系統，可提供更高效、更精確的研磨。研磨輪的速度和沖程速率均可調節,從而可以精確控制過程。研磨輪還采用了金剛石磨料，以確保一致的結果和高精度。拋光頭提供了過程中的最後一步，確保了最高水平的表面光潔度。SPEEDFAM拋光頭的設計可容納不同的晶圓尺寸和厚度。頭部采用振動墊和行星齒輪傳動，以提供最高精度和準確度。為了改進結果,磁頭設計為以精確調節的速度旋轉。SPEEDFAM 9B-5是為生產高精度晶圓研磨、研磨和拋光而設計的.它具有模塊化設計，允許添加多個工藝頭並提供更大的靈活性。該系統還采用先進的數字測量工具和計算機控制的電子/機械系統，以確保高精度和可重復性。總體而言,9B-5提供了最佳的晶片加工性能,包括高效的研磨和研磨、高精度拋光以及均勻的表面飾面。