二手 SPEEDFAM 9B-5B-IV #9223853 待售

SPEEDFAM 9B-5B-IV是一種先進的研磨、研磨和拋光設備，設計用於晶圓的精密磨損、拋光和表面改性。系統使用三個特殊磨料輪的組合來處理晶片。所有車輪都固定在密封的環境中，並在垂直平面中旋轉，以進行精確的研磨和拋光。磨削輪和研磨輪由固定在復合主軸上的細或粗氧化鋁顆粒組成。這個主軸以精確的速度旋轉，使得研磨和研磨過程發生而不會損壞晶片。研磨過程在晶片上創建一個平坦的表面,而研磨過程提高了表面粗糙度。該單元的整理輪為多晶金剛石（PCD）輪。PCD比氧化鋁具有明顯的研磨性，用於增加晶圓的表面粗糙度。這是通過精確的振蕩運動加上車輪的RPM逐漸增加來實現的。這個過程去除了較小的粒子，允許更高的精確度。9B-5B-IV臺機器采用模塊化設計，可進行簡單的維護和維修。它包括一個內置的保護櫃，保護操作員免受與磨料工藝相關的潛在危險。整個工具通過PLC和PC進行監控和控制,並配置為操作員選擇正確的研磨過程。數據記錄和報告可用於跟蹤流程和部件歷史記錄。這項資產的設計考慮到了自動化。它能夠以最短的安裝時間和相對較小的占地面積每小時處理多達50個晶圓。可以定制模型以滿足客戶的特定需求,包括添加多種工具和模塊的能力。總體而言，SPEEDFAM 9B-5B-IV是精密晶圓研磨、研磨和拋光的有力工具。它能夠準確地產生平坦光滑的表面，同時也提供出色的表面光潔度。設備的自動化功能允許對其進行配置以滿足特定的生產需求。