二手 SPEEDFAM 9B-5L-42 #9224846 待售

SPEEDFAM 9B-5L-42是由SPEEDFAM International Incorporated制造的高性能晶圓研磨、研磨和拋光設備。它廣泛用於電信、電源設備、MEMS、MEMC、SOI和晶圓級光學等行業。該系統配備了五個研磨板-4 「x2」、6 「x3」或8 「x4」,並安裝在兩個三頭配置上。第一種配置是5L-42N的，它包括一個封閉的可變流動循環研磨油單元以及一個低功率的刷子，在研磨周期之間清潔板和準備晶片。第二種配置是5L-42C，它包括冷卻劑循環罐和風扇冷卻代替。這兩種配置都有一個由½ HP電機驅動的36英寸磨輪、一個由1 HP電機驅動的420mm空轉臺、數字張緊器、一個用於特殊研磨和拋光步驟的研磨/拋光壓板以及一個用於脫毛機的粉泡機。5L-42工具具有出色的研磨精度,研磨精度可達± 1 µm；高去除率，研磨速度可達2 µm/秒；和自動化操作,帶有直觀的9英寸彩色觸摸屏以方便操作,以及用於控制和數據記錄的可編程邏輯控制器（PLC）。此外，該資產擁有一個強大的設計，使其適用於所有類型的晶圓。還可以向9B-5L-42添加許多可定制的選項,包括用於幹濕處理的旋轉輸送機、晶片卡盤和基於CPU的控制站。該型號還采用模塊化結構，便於升級到功能更強大的組件和功能，如傳感器頭計算機接口和自動晶片裝卸系統。總體而言,SPEEDFAM 9B-5L-42是一種可靠的符合人體工程學的設備,提供精湛的研磨精度、高的拆卸率、先進的自動化和一系列可定制的選項。該系統用於多種行業,為那些在研磨、研磨和拋光晶片時尋求極致精度的用戶提供可靠的性能。