二手 SPEEDFAM 9B-5L-III #9311816 待售

SPEEDFAM 9B-5L-III是一種精密晶圓研磨、研磨和拋光設備.該系統專為處理大型3「-5」半導體晶圓而設計，能夠實現單高速操作的高幾何精度和表面光潔度。該單元還配備了一個全自動控制機器，結合了先進的機器功能，使精密控制和工程處理成為可能。SPEEDFAM 9 B 5 L III利用強制磨料接觸的過程，允許晶片兩側同時進行單通加工，以達到輪廓和平行性。刀具獨特的設計允許可控的轉速、壓力和進給速率，從而實現參數的精確控制。強制磨料接觸由2.7 hp直流伺服電動機提供動力,並與可調節的模具夾具結合使用,以確保晶圓處理的安全性和一致性。9B-5L-III包括可編程邏輯控制器（PLC）,用於監控和規範自動化操作。資產還包括自動循環控制和象限陣列主軸頭設計。這種設計最大限度地減少了角拋光，旨在消除操作員的幹擾並確保晶片表面的均勻性。該模型的實時圖形用戶界面（GUI）旨在提供廣泛的操作員反饋和控制,而強大的工作處理和資產監控設備的集成確保了高效、可重復的操作。9 B 5 L III包括廣泛的可供定制的磨料，允許操作員根據應用輕松選擇最佳加工條件。該系統還因其堅固的構造、先進的驅動技術和模塊化設計而設計為易於維護和維修。SPEEDFAM 9B-5L-III非常適合要求高表面光潔度和幾何精度的高精度拋光和研磨應用,提供可靠的重復性和卓越的性能。該設備的吞吐量高達每小時900晶圓,能夠提高生產效率和降低運營成本。