二手 SPEEDFAM 9B-5L-IV #293797713 待售
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SPEEDFAM 9B-5L-IV是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備,可以在不同類型的基板上運行,從矽和石英到SiC、藍寶石和各種金屬。它通過機械和光學配置的無縫集成,實現了晶片研磨、研磨和拋光的無與倫比的精度和精確度。該系統融合了多種專有技術,包括微米精確晶圓研磨工藝、自動晶圓計量單元和納米級磨料精加工機構。9B-5L-IV的心臟由精密分級的金剛石磨輪組成,由直線驅動機器驅動。這種組合能夠達到每平方英寸高達15,000磅的磨削力,提供無與倫比的精度和控制,同時也產生最大的切割速度。主軸可以以高達18,000 rpm的速度旋轉,使得晶圓的直徑可以快速和精確地磨削到10微米以下。除了研磨能力外,SPEEDFAM 9B-5L-IV還采用晶圓研磨工藝,通過裝有一組金剛石粘合盤的三軸龍門進行控制。這些圓盤在壓力下圍繞晶片移動,創造出具有納米精度的均勻表面光潔度。該工具還包括視覺引導系統,即使在最小的晶片上也能提供準確和可重復的結果。9B-5L-IV還配備了自動晶圓計量資產,在監測研磨和研磨過程時提供更高的精度和控制。該模型能夠檢測晶圓表面的不規則性並進行相應的校正。最後,拋光過程也是自動化的,通過拋光墊和微處理器控制的旋轉頭的組合。該設備能夠以納米精度和可重復性提供高達32 Ra的光潔度。總體而言,SPEEDFAM 9B-5L-IV是獲得卓越質量晶圓研磨、研磨和拋光效果的理想機器。它無縫集成了先進的技術和精密分級的組件,使它能夠達到無與倫比的準確性和效率水平,每一個結果都是可重復和可靠的。
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