二手 SPEEDFAM 9B-5L-IV #9181275 待售

SPEEDFAM 9B-5L-IV是晶圓研磨、研磨和拋光的自動化設備。它是一個五軸系統,為要求最苛刻的應用程序提供了最高的準確性和可重復性。它為矽和其他微妙物質，包括金剛石和SiC提供了三個級別的研磨、研磨和拋光。9B-5L-IV單元設計用於處理半導體晶片，並對其執行苛刻的研磨和拋光操作。本機使用先進的運動對數定位工具（KLPS）。它使用三個軸移動刀頭和兩個附加軸來定位工件，同時保持精確的控制。這樣可以獲得所需的幾何形狀和晶圓的精確光潔度。KLPS控制資產還利用3 D插值功能,使機器能夠跟蹤形狀不規則的晶圓。SPEEDFAM 9B-5L-IV具有堅固的電動主軸,非常適合高精度研磨、研磨和拋光應用。它配備了一個用於監測夾緊力的載荷單元。這樣可以確保材料不會因過度夾緊而損壞。主軸的機油冷卻功能可確保設備在操作過程中不會過熱。細粒磨削/拋光盤的選擇範圍從50 um-0.2 μ m（超精米）到25-250 μ m。它支持直接鍍金剛石的研磨板，便於高效研磨過程。9B-5L-IV還支持計算機數控（CNC）,可實現自動研磨、研磨和拋光過程。該型號內置的CCD夾具相機可以捕捉研磨/拋光晶片的圖像，允許用戶監控操作質量。它易於使用的軟件為用戶提供各種參數，如自動對齊、配置文件設置、邊緣檢測等等，以方便操作。此外，該機組還配備了內置的油霧清潔器，該清潔器可過濾出磨削產品中的小顆粒和在磨削過程中可以粘附在儀器上的汙垢，確保清潔運行。所有這些功能都結合在SPEEDFAM 9B-5L-IV設備中,使其成為最先進的晶圓研磨、研磨和拋光操作的競爭選擇。