二手 SPEEDFAM 9B-5L-IV #9181276 待售

SPEEDFAM 9B-5L-IV是一種精密的晶圓研磨、研磨和拋光系統,主要用於半導體制造過程。它具有完全自動化的可靠性，能夠處理各種各樣的材料和形狀。該系統由幾個組件組成，這些組件協同工作以有效地研磨、研磨和拋光晶片。這包括移動晶片級的機器人手臂、研磨、研磨和拋光室、紡車和用於監測過程數據的直列式稱重橋。機器人臂用於將晶片級小心翼翼地移動到研磨、研磨、拋光室中。室內溫度控制，確保材料在處理過程中保持理想狀態。在內部，腔室還包含一個旋轉的車輪，該車輪將晶片旋轉到車輪下方，使其磨削和拋光。研磨、研磨和拋光室具有可調的設置，以控制施加在晶圓上的速度和壓力。可以調整施加在晶片上的壓力，以確保根據晶片的材料施加正確的量。這有助於確保在此過程中取得最佳結果。處理過程完成後，晶圓級移出腔室並檢查收集到的數據。串聯稱重橋測量研磨、研磨、拋光過程中從晶片中除去的物料量。然後使用這些數據驗證在處理過程中是否施加了正確的壓力。通過使用9B-5L-IV,制造商可以確保其流程高效可靠。控制過程中使用的壓力和速度的能力,以及測量從晶圓中去除的材料量的能力,使得所有制成品的結果一致。這使得SPEEDFAM 9B-5L-IV現代半導體行業的寶貴工具。