二手 SPEEDFAM 9B-5L-IV #9181284 待售

SPEEDFAM 9B-5L-IV晶片研磨、研磨和拋光設備是一種用於半導體晶片精密研磨和拋光的全自動可編程加工工藝。該系統將幾種不同設備的自由磨料研磨、研磨和金剛石拋光能力結合到一臺機器中，提供單步工藝。該單元的主要部件是磨料磨頭，具有直徑5英寸的壓板，最多可容納9個晶圓。它還包含兩組磨輪架，可容納多達36個磨輪，範圍從500到2000砂礫，用於拋光和鋪面應用。磨頭配備了變速電機和可調深度的切削設置，允許調整工藝條件進行微調。下一個組件是研磨頭，它使用精密的浮動刀刃壓板，以確保研磨操作在整個晶片上一致。此頭具有兩軸運動,可精確控制切割深度和速度。研磨頭還裝有可調節的金剛石噴嘴，可用來分散磨料化合物，讓操作員仔細控制研磨參數。最後一個元件是金剛石拋光頭，它使用巧妙的3軸轉盤，可以以「圖8」運動移動晶片，以確保均勻的表面光潔度。此功能使機器能夠實現平整和無刮擦的完成,而無需手動幹預。拋光頭還配有固定位置的金剛石噴嘴，可有效分散拋光化合物。將研磨、研磨和拋光操作集成到單個機床9B-5L-IV能力使晶圓研磨、研磨和拋光機成為高精度半導體應用的理想選擇。磨削、研磨和拋光頭的可調參數使操作員能夠根據各種工藝要求輕松對機器進行微調，並產生可重復、無缺陷的結果。結合其高機動性，該工具適用於任何生產環境。