二手 SPEEDFAM 9B-5L-IV #9191615 待售

SPEEDFAM 9B-5L-IV是一種真正創新的晶圓研磨、研磨和拋光設備。這個直觀的系統是專門為當今最關鍵的材料而設計的，從氮化​​氙（GaN）半導體到絕緣子上矽（SOI）器件。它有一個六軸工業機器人能夠支撐兩個過程頭，一個大直徑輪和一個polycool輪。它還有一個切割頭和一個軟皮帶研磨機。切削頭和軟皮帶磨床具有調速和數字化位置控制功能，可精確切割和磨削小網眼。工業機械臂創造了高精度和可重復性，顯著減少了材料損失和生產排斥。此外,保證低缺陷率和高產率.9B-5L-IV裝有一個大直徑的車輪，通過研磨和研磨一步處理大型基板。這個輪子配有真空卡盤，並且是可調的，允許不同類型和尺寸的基板進行加工。Polycool輪是一種獨特的專用輪,用於研磨和拋光大型基板。這個輪子裝有一個裝有水基冷卻劑的冷卻室。冷卻劑通過專用泵在車輪上循環，從而實現穩定、恒定的冷卻。這種冷卻減少了熱梯度和與熱有關的缺陷,從而實現了出色的表面光潔度。SPEEDFAM 9B-5L-IV還具有強大的電氣驅動器,可降低功耗並提高壽命可靠性。此外，其先進的診斷、報警單元和自動安全關閉機使其成為用戶友好、安全可靠的工具。9B-5L-IV是一種高科技、經濟高效、可靠的晶圓研磨、研磨和拋光資產。其獨特的特性和能力使其成為當今具有挑戰性的基材加工的理想選擇。對於需要最高拋光精度的材料,它是一個創新的解決方案。