二手 SPEEDFAM 9B-5L-IV #9208859 待售

SPEEDFAM 9B-5L-IV是為高精度應用而設計的晶圓研磨、研磨和拋光設備。該系統采用proGran™研磨室，配備了最新一代晶圓研磨技術。這樣可確保將不透明和/或纖薄晶片磨削至最緊公差的最佳性能。獨特的proGran™研磨室還具有卓越的熱控制和動態平衡，能夠有限的研磨大型晶片達135毫米。9B-5L-IV由無刷直流電動機和先進的數字通信和網絡連接選項提供動力。該單元采用高功率、高性能的5級研磨工藝驅動，能夠產生亞微米均勻性，最大平坦度規格為+/-5 μ m。該機還提供了出色的表面均勻性，RZ為0.2-.3um。SPEEDFAM 9B-5L-IV由專有的IntelliPol™拋光工具備份,為用戶提供完整的PZT晶圓拋光解決方案。IntelliPol™資產的設計目的是在晶圓上提供低應力的精確拋光,並為用戶提供調整拋光漿的壓力分布、低壓、可變速度和再循環的能力。用戶還可以根據需要將清潔、除銹和表面研磨工藝集成到模型中。9B-5L-IV還包括一系列先進的晶片處理設施，確保晶片在整個過程中的安全和高效處理。設備可以配置自動卡盤旋轉過程，使用最新的可用技術，以確保精確的晶圓定位和安全的加載。用戶可以訪問基於Web的監視系統,以監視和控制設備的性能。這包括實時PZT溫度和壓力讀數、時間使用數據和機器性能指標。總體而言，SPEEDFAM 9B-5L-IV晶片研磨、研磨和拋光工具是那些希望達到最高精密晶片加工水平的人的理想解決方案。該資產為用戶提供了廣泛的功能,包括復雜的晶圓處理、研磨和拋光功能以及高級監控和報告功能。這種特性的結合使得該模型適用於半導體制造、航空航天和汽車工程以及醫療設備制造等行業。