二手 SPEEDFAM 9B-5L-IV #9223160 待售

SPEEDFAM 9B-5L-IV
ID: 9223160
Double sided lapping machine 1991-1995 vintage.
SPEEDFAM 9B-5L-IV是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,設計用於以高質量的表面光潔度完成晶圓。這臺機器采用高速研磨、研磨和受控拋光的組合,產生高度精確和精確的晶圓表面。9B-5L-IV能夠在三種模式下操作-研磨、研磨和拋光。磨削是該過程的第一階段,使用晶片在兩個旋轉的磨料板之間進行。此過程用於去除材料並平滑任何表面粗糙度。磨削過程中可達到的表面粗糙度通常為5-10納米.研磨是過程的第二階段,在平面上進行,而晶片以受控的方式在表面上移動。這是用金剛石圈和研磨膏完成的,一般用於達到小於0.25納米的表面粗糙度。拋光是工藝的第三階段,用於賦予晶片高發光光潔度。SPEEDFAM 9B-5L-IV配備了可調整以適應不同晶圓尺寸的拋光輪。拋光工藝可以達到小於0.1納米的表面粗糙度。9B-5L-IV是一種高效、多用途的晶片研磨、研磨和拋光系統,能夠生產高精度、高質量的晶片,表面光潔度滿足各行業的要求。該單元易於操作,可以調整研磨、研磨和拋光工藝的速度以及負載,從而可以更好地控制最終結果。設計緊湊、功耗低,是尋找晶圓研磨、研磨拋光機的企業的理想選擇。
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