二手 SPEEDFAM 9B-5L-IV #9224517 待售

SPEEDFAM 9B-5L-IV是SPEEDFAM公司制造的晶圓研磨、研磨、拋光設備。該系統旨在同時處理具有多種表面特征的功能齊全的晶片。它有五個工作甲板在一個孤立的真空環境，它允許重復和可靠的例行研磨，研磨，和拋光操作。9B-5L-IV裝置的工藝設計滿足基材加工和生產的高要求。高精度的5軸機能夠生產公差嚴密的零件，並配備幹濕加工能力。這臺機器能夠提供極好的表面光潔度和最小的缺陷.該工具使用金剛石磨料輪，以及專門的金剛石漿料和其他一些拋光部件來生產緊密公差的零件。它具有兩種幾何形狀-雙模式和單模式-提供獨特的研磨、研磨和拋光功能。雙模態幾何有助於批量處理大體積零件,而單模態非常適合更詳細的處理需求。每一個金剛石車輪都安裝在一個出色的不銹鋼襯板上，並經過微調，以獲得最佳的重復精度。精磨設備采用晶圓表面光潔度監測器、高速加載臂和PLC驅動的裝卸模型相結合。SPEEDFAM 9B-5L-IV處理各種尺寸的晶片,可以靈活處理微小的變化。晶圓尺寸被持續監控，以盡量減少與工藝相關的損害。此外，9B-5L-IV還配備了定制的壓力監測和控制系統，以減少工藝時間的變化。該設備還包含低速傾斜和修整主軸電機，並帶有用於精確零件定位和對準的傳感器。鉆石磨料輪梳妝臺可根據需要方便地更換鉆石和鉆石漿料。SPEEDFAM 9B-5L-IV系統由強大的西門子自動化控制器驅動,它無縫地促進數據傳輸、控制和監控。最後，該單元配備了豐富的安全功能，包括緊急關閉功能。