二手 SPEEDFAM 9B-5L-S #9043712 待售

SPEEDFAM 9B-5L-S是一種通用的自動化精密晶圓研磨、研磨和拋光設備。該系統的設計應用包括切削、回磨、CMP和150 mm以下晶片的拋光。它是一種能夠達到亞微米精度的高精度單元。該機由一個920mm x 600mm的研磨板和五個600mm x 200mm的研磨安裝站組成。每個研磨站都配有一個伺服電機和編碼器，控制研磨表面運動，提供對研磨速度和運動方向的精確控制。墊片的位置應盡量減少顆粒汙染，並能有效收集灰塵。9B-5L-S的研磨站配備了能達到高達20,000 RPM速度的高扭矩、低速電動機。SPEEDFAM 9B-5L-S能夠進行幹磨和濕磨,適合廣泛的應用。該工具的研磨階段配備了多步可編程循環控制。這允許用戶配置研磨過程以匹配其應用程序的要求。它還確保了研磨過程是可重復的和可跟蹤的未來審計。此外，還可以選擇采用校準循環，自動補償研磨板的磨損。9B-5L-S的拋光階段配備了一個負載單元、一個伺服馬達和一個編碼器，對過程提供精確的控制。有可編程參數允許用戶根據不同的要求調整壓力、旋轉速度和速度坡道。SPEEDFAM 9B-5L-S是一種可靠可靠的資產,能夠產生卓越的效果。它提供了對研磨、研磨和拋光過程的精確控制,確保晶片的均勻光潔度。它適用於需要精確晶片加工的應用,非常適合用於需要高質量控制標準的制造操作。