二手 SPEEDFAM 9B-5L #293641135 待售

SPEEDFAM 9B-5L是一種晶圓研磨、研磨、拋光設備，廣泛應用於半導體生產和光學制造。該系統旨在在各種材料（如矽、藍寶石基板和金屬）上創建卓越的高精度平面。該機組采用三站配置，結合了旋轉研磨機構、固定研磨機構和研磨拋光機構。旋轉研磨臺采用安裝在主軸上的金剛石研磨輪，可精確控制研磨壓力和速度。固定式研磨臺采用獨特的空氣承載機，能夠在廣泛的受力範圍內實現無摩擦操作，確保了高精度的加工。SPEEDFAM 9B5L有一個全自動研磨和拋光階段，在受控液壓分配工具下使用金剛石或氧化鋁磨料。這樣可以精確控制表面研磨和拋光的均勻性和深度。資產還有一個嚴格的氣體凈化模型，使用重型氮氣洗滌器和排氣過濾器清除空氣中的顆粒和氣體，確保清潔、無汙染物的工作條件。9 B-5 L設備還包括一個先進的運動控制套件，用於調節系統內的所有運動，包括研磨和拋光階段。該運動控制套件由工業級的基於PC的數控控制器、基於編碼器的閉環控制單元和先進的伺服電機驅動機組成。總體而言,9B5L工具是一種高度復雜的自動化資產,旨在在一系列材料上創建卓越的平面。它有一個精密的運動控制組件，可以精確控制模型，以及一個堅固的空氣軸承設備，用於無摩擦操作。該系統還有一個統一的排氣裝置和一個氮洗滌器，可確保清潔、無汙染的工作條件。