二手 SPEEDFAM 9B-5L #9143836 待售
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單擊可縮放
ID: 9143836
優質的: 1999
Lapper / Polisher
(2) Variable frequency drives
(3) Motors:
Main drive
Sun gear (Reversible on control panel)
Vertical sun and ring gear elevation adjust
320 Grit SiC
Main plate 10HP VFD with no lapping hours
Sun gear motor & VFD: 3HP
Stainless cover
Electrical panel devices with VFD (Variable frequency drive)
Common to lap & polish:
Substrate material
Cylinder pressure
Flatness of plates
Plate material
Conditioning of plates
Carrier thickness
Carrier material type
Target surface finish
Lap:
Grit material
Grit shape
Grit size
Grit size tolerance (Vendor dependent)
Grit carrier solution, mixing or grit suspension
Grit pump rate
Polish:
Substrate flatness prior to polish
Slurry material
Slurry pump rate
Pad material
Pad type
Processing materials:
Aluminum nitride (AlN)
Beryllium oxide (BeO)
Coorstek superstrate (Al2O3)
Does not include:
Slurry delivery system
1999 vintage.
SPEEDFAM 9B-5L是一種精密晶圓研磨、研磨和拋光設備,專為需要高通量和均勻性的應用而設計。SPEEDFAM 9B5L采用先進的雙級研磨系統,可提供直徑不超過6英寸的基板的快速、一致和同時研磨。與傳統的多級拋光機相比，機載拋光裝置提供了更好的均勻性拋光效果。獨特的振動機，驅動磨料帶磨削過程，提供了對拋光力、速度和機器平穩運行的終極控制。9 B-5 L具有無死區驅動滾筒設計、輕巧、耐腐蝕的模具底座和創新的雙軸支撐結構,可提高應用剛度。雙級設置提供快速、均勻的研磨和研磨效果,實現單次操作,即使工件輪廓復雜。此外,它的無復刻配置消除了在操作過程中更換磨料帶的需要,從而提高了吞吐量和作業一致性。為了清潔高效地運行,SPEEDFAM 9 B-5 L包括一個全流程監控工具,具有實時反饋和自動化流程控制功能。機器直觀的圖形人機界面（HMI）將關鍵的工藝參數用於在單個屏幕內控制研磨、研磨和拋光結果,以便於訪問。用戶友好的菜單導航使用戶能夠快速設置參數以進行處理和過程優化。該資產獨特的空氣洗滌器凈化模型創造了清潔的氣流，以減少灰塵顆粒和其他碎屑，確保生產環境中的清潔、安全運行。為保證低噪聲操作，在機內內置隔音，噪聲水平降低了80%以上。9B5L提供先進的技術和卓越的性能,為工業應用提供高質量的晶圓研磨、研磨和拋光解決方案。它可用於雙面應用和單面應用，如太陽能電池板，用於高精度應用。它的可移植性、靈活性、自動過程控制等先進特性，使其成為光子學、半導體和醫療器械行業各種晶圓研磨、研磨和拋光應用的理想之選。
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