二手 SPEEDFAM 9B-5L #9222186 待售

ID: 9222186
優質的: 1998
Lapper 1998 vintage.
SPEEDFAM 9B-5L是一種自動晶圓研磨、研磨和拋光設備,設計用於生產高精度微電子元件。該系統是一步一步的自動化工藝,用於研磨、研磨和拋光各種材料,如石英、矽和其他用於微電子學的半導體材料。該單元由一個基本單元和幾個外圍部件組成,包括一個自動拋光機、一個C軸偏心磨頭、一個機械磨臂、一個研磨機和一個液體拋光站。基礎單元由重型鋼材和滾筒構成,便於在生產區域周圍移動。它還包括一個主控制面板和一個10英寸的觸摸屏,帶有編程定義的操作和配方。所有附件都安裝在支架上,以便完全隨身攜帶。自動拋光機利用金剛石磨料顆粒、陶瓷圈和/或樹脂粘合磨料輪完成磨削、研磨和拋光工藝。C軸偏心磨頭使晶片和正在加工的元件完全可訪問,從而提供更光滑的光潔度和更高的精度控制。機械研磨臂具有可調節的速度機構和可調節的位置,使其能夠深入到材料中並更精確地成形。研磨機的工作原理是用磨料表面研磨材料表面。這是使用可變壓力和速度以及真空傳導的液體漿料來實現的,這種漿料有助於產生均勻的光潔度。液體拋光站通過分散程序編程的非反應性液體顆粒來拋光石英材料,從而提供石英的最終拋光。這確保了標準化、高精度的精加工。SPEEDFAM 9B5L是一種功能強大的自動化機器,能夠快速、高精度地精加工微電子元件。對於需要最高質量、可重復的產品的生產工藝來說,這是一個理想的選擇。其先進的編程能力、高效的磨料加工以及可調節的速度、位置和壓力,為每次使用提供可靠一致的結果。
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