二手 SPEEDFAM 9B-5L #9224633 待售

SPEEDFAM 9B-5L晶圓研磨、研磨和拋光設備是一種全自動、數控的研磨、研磨和拋光系統。為半導體晶片提供高精度、低汙染的表面精加工.該單元可容納直徑2「至8」的各種尺寸的晶片，並具有高速主軸和多軸伺服控制，用於精確定位和控制運動。機器由一個基本單元組成,主軸與之相連.主軸是可調的，允許擴展和延長主軸取決於精確晶圓尺寸正在處理。主軸以極高的速度旋轉，單程達到1 μ m精度的表面精加工，可針對各種晶圓厚度進行調整。研磨是由位於主軸另一端的高速研磨輪啟用的，使車輪可以一次處理晶圓的整個表面。砂輪是可調的，以獲得所需的精確表面粗糙度。晶片表面的研磨和拋光是由一個浮頭完成的，浮頭包含許多磨盤。這樣可以確保晶片的整個表面同時處理，同時確保晶片保持完全平坦。磨盤可以改變以適應不同的表面特性，如高光澤、磨砂或拋光飾面。SPEEDFAM 9B5L能夠辨別不同類型的晶片,從而可以設置特定於所處理晶片類型的工具。它還包含一個粒子檢測資產，有助於檢測晶圓表面的任何微小變化，也可以用來監控模型狀態。該設備設計用於快速、準確的處理,同時為用戶提供全面的控制。它還提供低汙染處理，從工作環境中清除任何空氣中的顆粒或碎片，並確保晶圓上不會沈降多余的材料。這有助於減少晶圓拒絕並提高收益率,最終為用戶提供更高的回報。系統的用戶界面非常用戶友好。它提供了直觀的單元顯示,允許用戶快速訪問計算機設置、材料選擇和運行時信息。該工具可以編程為運行不同的模式，為資產增加靈活性和可靠性。總體而言，9 B-5 L晶片研磨、研磨和拋光模型為各類半導體晶片的研磨、研磨和拋光提供了可靠高效的設備。它具有高度的精確度和對整個過程的精確控制，是那些需要高質量和一致的最終結果的人的理想選擇。