二手 SPEEDFAM 9B-5L #9276628 待售

SPEEDFAM 9B-5L是一種高度先進的自動化晶圓研磨、研磨和拋光設備。該系統被設計為產生難以置信的精確晶圓表面，具有無與倫比的可重復性。SPEEDFAM 9B5L特別適合生產用於先進矽集成電路和MEMS器件的精密晶片。9 B-5 L使用12軸機器人磨削龍門進行磨削和拋光操作。根據生產周期的不同，操作員可以從各種磨輪中進行選擇，包括直徑達320毫米的金剛石浸漬，以及高達220毫米的聚酰亞胺粘結。Robotic Grinding Gantry能夠執行各種各樣的研磨和拋光操作,從去除精細的地形到更大的復雜凹陷和剖面。9B5L還配備了5軸研磨/拋光站。該站提供了將晶片拋光至更高精度標準的能力，這對於生產超精度晶片至關重要。研磨/拋光運動由電機驅動的帶有線性編碼器的交叉構件提供，達到0.01微米的運動分辨率，可重復性超過百分之一微米。9B-5L可以接受25.4-203毫米之間的晶片並接受磁帶、無帶和定制載波。整個單元設計得相當堅固，機器人龍門能夠提升超過25公斤。SPEEDFAM 9 B-5 L還提供靈活的配方管理,允許用戶在整個操作過程中輕松調整速度、壓力和方向等參數。總而言之,9 B 5 L是一種非常強大的機器,可自動進行晶圓研磨、研磨和拋光操作。該工具具有廣泛的適應性砂輪和精密的研磨/拋光，能夠為先進的晶圓提供超精度的結果。資產的穩健性和靈活的配方管理使其非常適合任何生產任務。