二手 SPEEDFAM 9B-5P-5 #293633720 待售

SPEEDFAM 9B-5P-5晶圓研磨、研磨、拋光設備是一種先進、高精度的晶圓處理解決方案,旨在提供無與倫比的精度、可重復性和吞吐量。這一經濟高效的系統提供多種研磨、研磨、拋光頭和介質,能夠通過快速、精確地處理多種尺寸的矽和其他材料來降低生產成本。9B-5P-5單元的主要部件是三個固定機械級，具有低振動、直接驅動晶片對準和無齒輪轉換的特點。每個階段由一個精密主軸、一個多軸運動機、一個可編程間距輪和一個重型鋁制框架組成，為晶圓研磨和拋光任務提供精確的粒度和精度。該工具配備了用於精確定位的高性能、負載無關的線性伺服級，以及允許高速切割高縱橫比特性的高動態、雙動徑向級。該資產還具有先進的高扭矩主軸,可高達160,000 rpm（每分鐘轉數）,確保平穩一致的結果和最小的材料損失。SPEEDFAM 9B-5P-5能夠產生高達4,500 rpm的速度，使其速度足以處理甚至最苛刻的晶圓研磨應用。該模型采用集成、高精度的研磨手柄和腳部,即使是最堅韌的材料也能高效研磨、膝蓋和拋光,而不會損壞或變形。最後,9B-5P-5編程簡單,需要最少的操作員接口.它與各種軟件程序兼容，並且隨著流程或材料需求的發展而易於升級。其自動調諧校準設備也使得快速調整和微調設置變得簡單，進一步降低了晶圓研磨的整體成本，同時取得了優越的效果。