二手 SPEEDFAM 9B-5P #9352976 待售

SPEEDFAM 9B-5P是一種晶圓研磨、研磨、拋光設備，能夠將矽、SiGe、III-V、單層或多層薄膜等各種基板精加工，達到以往常規方法無法達到的一系列平坦度、平行性和表面光潔度規格。該系統建立在一個載波板上，該載波板由兩塊板和一個用於保存晶圓樣品的頂板組成。供應給三個調節閥的壓縮空氣控制晶片樣品的進料速率和敷料速率。金剛石輪用於研磨晶片樣品，交叉進料機構提供研磨所需的壓力。使用手寫筆類型選擇器機構根據所加工的晶片基板選擇研磨、研磨和拋光參數。該裝置配有恒壓研磨機和水冷拋光工具，確保晶圓表面的光潔度一致。資產還具有位置檢測類型的遍歷機構,允許對工件進行校正和調整。9B-5P還配備了閉環光學反饋模型，可以連續監測研磨和拋光過程。這樣可以確保每批晶片樣品的處理效果與可重復結果一致。SPEEDFAM 9B-5P非常適合半導體和光學器件制造商,他們的部件需要達到較高的平面度和表面光潔度,而且可能沒有資源投資於全面的拋光設備。