二手 SPEEDFAM 9B #293621393 待售

SPEEDFAM 9B是一種全自動的數控晶片研磨、研磨和拋光設備，設計用於半導體晶片的低成本和高精度拋光。它具有一種新穎的拋光結構，使c-direction和w-direction研磨能夠改善表面粗糙度控制，並有較短的循環時間來快速完成過程。該系統包括一個用於在晶圓上進行研磨和拋光的模塊化高速主軸，以及一個在給定的機器循環中自動重復操作的轉盤。轉盤的旋轉頻率為1 Hz，由負載手推車驅動。機器的刀具布置是靈活的，允許工具的定制布置，以最適合晶圓在生產過程中的工藝要求，如晶圓的大小和厚度不同。SPEEDFAM 9 B的過程可以通過直觀的、基於GUI的軟件來控制。它包含自動識別晶片類型並相應調整主軸和研磨板的自動識別算法。該軟件還提供了生產過程的完全冗余和監控，允許在操作過程中進行數據流傳輸，並提供所有過程的完整可追蹤性。該單元的拋光過程由高速主軸進行，可獲得與機械拋光類似的表面質量，但對表面形狀和尺寸的控制有所改進。這種主軸的頻率範圍為0.1-8毫米，速度高達15,000 rpm，最大8,000 g-force。為了保護晶片和工具,9 B配備了安全功能,可防止發生事故並確保符合人員安全和工藝質量標準。這臺機器用透明的蓋子封閉起來，這樣大多數操作都可以直觀完成，同時為操作員提供充分的保護。此外，該工具還配備了安全傳感器，用於檢測物體的存在，並在必要時停止任何操作，從而在生產過程中對危險事件提供全面的安全保護。總而言之，9 B是一種先進而精確的晶圓研磨、研磨和拋光資產，它以更快的工藝和更高的安全性提供卓越的表面質量。該型號適用於半導體行業的各種生產應用，提供無與倫比的精度、速度和多功能性。