二手 SPEEDFAM 9B #293656101 待售

SPEEDFAM 9B是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備，設計用於半導體、MEMS、光電、研究和國防工業的易用性、更高的吞吐量和改進的工藝可重復性。低振動、非接觸式磨料加工方法提供了優越的表面光潔度，實現了遠遠優於手動拋光的光潔度。研磨研磨過程由SPEEDFAM 9 B軟件啟動，該軟件調節研磨和研磨輪運動、主軸運動，還定義了研磨和研磨過程中材料的穿透深度。磨削和研磨頭被編程為遵循所需的輪廓，並在晶圓的整個表面積上提供相等的壓力。9 B系統配備了通用的刀具更換單元，允許對不同晶圓尺寸和工藝參數進行快速的刀具更改和設置。高精度研磨臺通過記錄晶圓位置和確保正確的車輪定心來提高精度。9 B的微處理器控制自動控制使主軸轉速和板面加速度保持不變，同時提供精確的端點監控。此過程中收集到的數據用於控制研磨壓力，每次研磨研磨操作後向機器發送信號，並提供自動交互反饋、中期和調度校準，以及對壓板面進行重新配準。SPEEDFAM 9B利用先進的水溶性磨料介質消除材料徑流，最大限度地提高成品表面的均勻性。該工具提供了廣泛的整理選項，同時消除了由顆粒堆積和逃逸塵埃造成的環境風險。該資產具有安全性和易用性功能,如多層次保護和用戶友好的觸摸屏界面。它還與現有的硬件和軟件平臺兼容，確保了操作方便和快速集成到生產環境中。SPEEDFAM 9 B是一種強大高效的晶圓研磨研磨解決方案，以安全可靠的方式實現精確、均勻的表面光潔度。該模型具有大量自動化功能,旨在為各種生產應用程序節省時間、降低成本並提高產量。