二手 SPEEDFAM 9B #9388411 待售

SPEEDFAM 9B是為晶圓研磨、研磨、拋光而設計的多功能設備。它能夠高效地進行多種研磨、研磨和拋光工藝，特別適用於大型晶圓加工。SPEEDFAM 9 B采用固定板、導軌系統和旋轉臺建造，配備手動卡盤，設計用於最佳除塵。它有一個開放式的框架配置，允許直接的機器維護與重鉻酸鹽塗層鋼表與真空密封不銹鋼頂板。它還由三相交流電動機和驅動單元提供動力,可調速至最高2500 RPM。9 B還配備了閉環伺服控制直線電動機，提供5nm的速度分辨率和2nm的分辨率以及可控的工藝時間，以確保精密的研磨和拋光操作。它還配備了線性旋轉執行器，負責控制研磨壓力，以及在研磨過程中給予平臺很高的穩定性。9 B還有幾個附加功能，例如真空機配有可調節的無刷電動機，能夠進行真空密封以完全收集灰塵。此外，該機配備了收集塵埃機器人，確保處理過程中的清潔工作環境，以及帶有警告和聯鎖系統的安全工具，以防止發生事故。它是用於半導體制造業以及加工透鏡和其他光學元件的完美工具。SPEEDFAM 9B具有可調的速度、先進的除塵和精確的控制,可提供高質量的研磨、研磨和拋光操作。