二手 SPEEDFAM Auriga C #141544 待售

SPEEDFAM Auriga C
ID: 141544
Fully integrated post-CMP cleaner for dry-in, dry-out processing Double side PVA cleaning through 2-brush boxes using common chemistries Cleaner water tracks and non-contact rinse ring for minimal surface contact SECS-II and GEM compliant.
SPEEDFAM Auriga C是晶圓研磨、研磨和拋光設備,是生產基材和其他產品的理想平臺。Auriga C提供卓越的表面光潔度質量和高吞吐量。其先進的設計使其可用於半導體制造業的許多不同應用,如變薄、背面研磨、表面研磨、研磨、拋光等。SPEEDFAM Auriga C搭載的高速主軸可達15,000 rpm的速度,可調範圍從400至8,000 rpm。主軸利用FAG電子學習技術,在許多晶圓研磨周期中提供準確和可重復的結果。該機還具有磁力驅動系統,為軟硬材料提供了出色的研磨能力。無論材料的硬度如何,該驅動單元都能保持研磨過程的精度。機器的模塊化設計允許完全定制,從而減少周期時間和持續的生產率。這包括廣泛的研磨介質,從鋼到金剛石磨料。自旋濾波器的附加選項可確保所使用流體的純度。Auriga C還配備了除塵裝置和防塵裝置,以減少汙染。除塵工具易於維護,並具有集成的除塵資產,具有易於使用的吸塵器框架。該模型還包括一個功能強大的可編程邏輯控制器(PLC),它自動控制晶圓研磨、研磨和拋光過程的各個方面。這樣可以為特定應用程序設計自定義設置,從而確保可重復性和準確性。SPEEDFAM Auriga C具有高精度測試設備、自動化系統和軟件的組合,旨在確保基板和組件獲得一致、高質量的結果。Auriga C是滿足各種制造要求的理想設備,提供生產精確度、靈活性和高性能。
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