二手 SPEEDFAM Auriga EC #141545 待售

SPEEDFAM Auriga EC是一種全自動晶圓研磨、研磨和拋光設備，設計用於半導體晶圓的精確研磨和拋光。它是為了保持精確的表面平坦和橫向精度與超精確研磨和拋光質量。Auriga EC是一款先進的機床，通過使用壓電驅動系統，提供降低工藝時間、提高產量、提高表面平整精度的潛力。SPEEDFAM Auriga EC的主要部件包括一個容納磨削、研磨、拋光半導體晶片的上部頭組件、一個大型研磨/平面臺以及一個同時研磨和平面晶片的下部旋轉臺。Auriga EC配備了各種不同的磁頭和工具，根據用戶的流程和應用需求量身定制。其中包括鉆石行星研磨頭、晶圓研磨機、線性研磨機、行星平面拋光頭和單晶圓拋光機。SPEEDFAM Auriga EC旨在實現精確的半導體平坦度、表面粗糙度和橫向精度。Auriga EC采用了獲得專利的CCD激光線曲率測量單元，允許高精度精確測量表面平坦度。此外,由於其高功率的振蕩電機,SPEEDFAM Auriga EC可以在0.4 nm內達到平坦度。Auriga EC還配備了內部空氣過濾機，在加工過程中清潔並保持最佳空氣質量，並完全清除任何化學汙染物。SPEEDFAM Auriga EC還包括一個內置的自動晶圓夾緊工具，精確精確地定位晶圓在機器中。此外，Auriga EC擁有廣泛的數據記錄功能，允許用戶存儲、分析和審閱晶圓研磨、研磨和拋光過程中生成的數據。最後，SPEEDFAM Auriga EC是一種經濟高效的半導體晶圓研磨拋光解決方案。它是一種高度可定制和用戶友好的資產,配備了高級功能。Auriga EC確保生產半導體晶片所必需的精確平坦度、表面均勻性和橫向精度。