二手 SPEEDFAM Auriga EC #293808015 待售
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SPEEDFAM Auriga EC是一種通用、自動化的晶圓研磨、研磨和拋光設備，產生一致、高質量的晶圓。它旨在確保在批量生產環境中對不同類型的晶片進行準確和可重復的精加工。利用單一通行證技術和集成的介質回收系統,它以最少的材料使用量提供了最大的吞吐量。Auriga EC有四個獨立的處理站；一個用於粗磨，一個用於研磨，兩個用於拋光。SPEEDFAM Auriga EC作為大批量生產的經濟高效解決方案,一次處理多達八個晶圓。提高了晶片的產量、吞吐量和保持力.Auriga EC具有直觀的觸摸屏控制單元,可存儲多達180種配方,並提供有關過程條件（包括速度、溫度和壓力）的實時反饋。這種過程控制監控器允許用戶密切監視整個過程，以及減少維護停機時間。SPEEDFAM Auriga EC有一個連續的媒體回收工具，確保最大產量和低材料成本。它還采用了可編程的漿液註入和流速設置，允許加工者在加工過程中密切調節漿液的濃度。可與多種漿液類型和濃度配合使用，以確保最佳效果。此外，Auriga EC配備了精密伺服驅動器，在處理過程中提供晶圓的精確定位。其平滑的運動使材料能夠均勻去除，並防止損壞晶片。它內置的真空資產消除了空氣中的粒子，使其成為操作人員更安全的環境。最終,SPEEDFAM Auriga EC為大批量生產環境提供了可靠、可重復的高質量晶片精加工。它采用直觀的觸摸屏控制模型、連續介質回收設備和精密伺服驅動器,使其成為適合任何操作的完美晶圓研磨、研磨和拋光系統。
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