二手 SPEEDFAM Auriga #9114132 待售

SPEEDFAM Auriga
ID: 9114132
晶圓大小: 8"
Post-CMP cleaner, 8".
SPEEDFAM Auriga是一款多功能晶圓研磨、研磨拋光機。這種最先進的設備以先進的運動控制技術、強大的驅動主軸和動態非接觸式空氣承載能力,為半導體晶片提供精確高效的平面化和缺陷消除。Auriga平臺具有廣泛的特性和功能,包括增量運動的微步控制、強大的主軸電機、閉環速度控制和自動刀具交換。這確保了穩定、高精度的晶圓研磨、研磨和拋光。此外,該機由於其快速、容易的轉換過程,能夠與各種類型的基板一起工作。SPEEDFAM Auriga專為在整個生產周期中實現最佳容量、吞吐量和效率而設計。它使用六個主軸來提供晶片的最佳研磨、研磨和拋光。每個主軸最多可控制兩個軸,這樣就可以快速輕松地調節研磨力。此外,多方向運動特性提高了Auriga系統的操作靈活性。SPEEDFAM Auriga采用多種先進材料建造,包括不銹鋼、鋁和兩者的組合。這種材料結構在其使用壽命內可確保持久可靠的性能。Auriga的最大研磨範圍為2895 x 2357 mm,為要求最苛刻的應用提供多種選擇和支持。SPEEDFAM Auriga單元利用其先進的運動控制技術,允許動態響應多軸坐標移動。事實證明,該機的精密操作及其堅固的結構比傳統的研磨系統更可靠。此外,各種進紙、形狀和邊緣校正算法為用戶提供了磨削功能的多功能性。Auriga也能夠使用多種研磨技術來研磨晶片,包括研磨、研磨和拋光。憑借其先進的技術,它為各種半導體晶圓研磨、研磨和拋光要求提供了高效、安全的選擇。由於其主軸和非接觸式空氣軸承在閉環控制環境中工作,該機提高了晶片的粒化和研磨精度。簡而言之,SPEEDFAM Auriga為一系列半導體晶圓提供了先進的研磨、研磨和拋光能力。其堅固的結構、精確的運動控制、強大的電機、非接觸式空氣軸承,使其成為一臺可靠高效的機器,可達到最高質量的效果。
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